激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測量的精密儀器。它通過將激光束分成兩部分,分別經(jīng)過不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣,從而可以精確測量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個步驟:激光發(fā)射:激光器發(fā)出單色光束。光束分割:通過分束器將激光束分成兩部分,通常稱為參考光束和測量光束。光程傳播:參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑,可能會經(jīng)過被測物體或介質(zhì)。光束合并:兩束光在分束器后重新合并,形成干涉圖樣。光纖干涉儀:利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象,廣泛應(yīng)用于傳感器、通信等領(lǐng)域。常熟耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
激光的出現(xiàn)在世界計量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,干涉儀的測量范圍可以**的擴展;而且由于它的光束發(fā)散角小,能量集中,因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收,變?yōu)殡娪嵦?,并由計?shù)器一個不漏的記錄下來,從而提高了測量速度和測量精度,比如說我國自行設(shè)計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀,可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢,精度達(dá)到±0.2μm,這就是激光干涉儀的成功例證。蘇州本地雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng),必然具有直流光平和電平零漂的弊端。
反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經(jīng)反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經(jīng)過透射和反射后,來到觀察區(qū)域E。G2(右)為補償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經(jīng)過玻璃板的次數(shù)相等,兩束光在到達(dá)觀察區(qū)域E時沒有因玻璃介質(zhì)而引入額外的光程差。當(dāng)M2和M1'嚴(yán)格平行時,表現(xiàn)為等傾干涉的圓環(huán)形條紋,移動M2時,會不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進(jìn)”圓環(huán)。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時,中心就會“吐出”一個個條紋;反之則“吞進(jìn)”。M2和M1'不嚴(yán)格平行時,則表現(xiàn)為等厚干涉條紋,移動M2時,條紋不斷移過視場中某一標(biāo)記位置,M2平移距離 d 與條紋移動數(shù) N 的關(guān)系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長。
但是這種單頻的激光儀并非完美,它的一個根本弱點就是受環(huán)境影響嚴(yán)重,在測試環(huán)境惡劣,測量距離較長時,這一缺點十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng),必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動反光鏡移動時,光電接收器會輸出信號,如果信號超過了計數(shù)器的觸發(fā)電平則就會被記錄下來,而如果激光束強度發(fā)生變化,就有可能使光電信號低于計數(shù)器的觸發(fā)電平而使計數(shù)器停止計數(shù),使激光器強度或干涉信號強度變化的主要原因是空氣湍流,機床油霧,切削屑對光束的影響,結(jié)果光束發(fā)生偏移或波面扭曲。雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進(jìn)行干涉測量的儀器。
(3)數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償 現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動測量,其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計結(jié)果。(4)雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床,由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補償。由于其高精度和高靈敏度,激光干涉儀在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要的地位。常熟耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
干涉圖樣分析:通過觀察干涉條紋的變化,可以獲取關(guān)于物體形狀、厚度等信息。常熟耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
實時測量:可以實現(xiàn)實時監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集,適合動態(tài)測量。廣泛應(yīng)用:廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、機械工程、光學(xué)測量、精密制造等領(lǐng)域。工作原理:雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過分束器分開后,經(jīng)過被測物體的反射或透射后再合并,形成干涉條紋。通過分析干涉條紋的變化,可以得到被測物體的位移信息。結(jié)論:雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測量工具,適用于各種科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用。隨著激光技術(shù)和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展,雙頻激光干涉儀的應(yīng)用范圍和測量精度將不斷提高。常熟耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
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