氣體系統(tǒng)作用等離子體球化設(shè)備的氣體系統(tǒng)包括工作氣、保護(hù)氣和載氣。工作氣用于產(chǎn)生等離子體炬焰,其種類和流量對(duì)焰炬溫度有重要影響。保護(hù)氣用于使反應(yīng)室與外界氣氛隔絕,防止粉末氧化。載氣用于將粉末送入等離子體炬內(nèi)。例如,在射頻等離子體球化過(guò)程中,以電離能較低的氬氣作為中心氣建立穩(wěn)定自持續(xù)的等離子體炬,為提高等離子體的熱導(dǎo)率,以氬氣、氫氣的混合氣體為鞘氣,以氬氣為載氣將原料粉末載入等離子體高溫區(qū)。送粉速率影響送粉速率是影響球化效果的關(guān)鍵工藝參數(shù)之一。送粉速率過(guò)快會(huì)導(dǎo)致粉末顆粒在等離子體炬內(nèi)停留時(shí)間過(guò)短,無(wú)法充分吸熱熔化,從而影響球化效果。送粉速率過(guò)慢則會(huì)使粉末顆粒在等離子體炬內(nèi)過(guò)度加熱,導(dǎo)致顆粒長(zhǎng)大或團(tuán)...