超純水是一種純度極高的水,其電阻率高達(dá) 18.2 MΩ?cm 以上,幾乎去除了水中所有的雜質(zhì),包括溶解性固體、有機(jī)物、微生物、膠體以及氣體等。它的制備工藝極為復(fù)雜且精密,往往綜合運(yùn)用了反滲透、離子交換、超濾、紫外線殺菌、超濾膜過(guò)濾等多種先進(jìn)技術(shù)手段。 在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,超純水是芯片生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵要素。芯片的微小電路結(jié)構(gòu)對(duì)雜質(zhì)極為敏感,哪怕是極其微量的離子或顆粒雜質(zhì)都可能導(dǎo)致芯片短路、性能下降甚至報(bào)廢。超純水用于芯片的清洗、光刻、蝕刻等各個(gè)工序,確保了芯片制造的高精度和高質(zhì)量。連續(xù)電去離子(EDI)可進(jìn)一步提升超純水純度。河南教學(xué)用超純水價(jià)格多少
離子交換樹(shù)脂質(zhì)量:離子交換樹(shù)脂用于去除水中剩余的離子,其質(zhì)量影響超純水的離子去除效果。樹(shù)脂的類型、交換容量、顆粒大小等因素很重要。例如,具有高交換容量的樹(shù)脂可以更有效地去除水中的離子,但如果樹(shù)脂的顆粒大小不均勻,可能會(huì)導(dǎo)致水流分布不均,部分離子無(wú)法充分交換,影響超純水的電阻率。而且,樹(shù)脂在使用過(guò)程中會(huì)逐漸飽和,需要定期再生或更換,否則會(huì)出現(xiàn)離子泄漏,降低超純水的質(zhì)量。超濾和微濾設(shè)備用于去除水中的大分子有機(jī)物、膠體和微粒。這些設(shè)備的膜孔徑、材質(zhì)和操作條件會(huì)影響過(guò)濾效果。如果超濾膜的孔徑不符合要求,可能無(wú)法有效截留大分子物質(zhì),導(dǎo)致它們進(jìn)入超純水。同時(shí),設(shè)備的操作壓力、溫度和流速等參數(shù)也需要合理控制。例如,操作壓力過(guò)高可能會(huì)損壞超濾膜,而過(guò)低的壓力則可能導(dǎo)致過(guò)濾效率低下。北京實(shí)驗(yàn)室超純水檢測(cè)超純水在考古文物修復(fù)中用于特殊材料處理。
總有機(jī)碳(TOC)的檢測(cè)方法,濕法氧化法,原理:在樣品氧化前進(jìn)行磷酸處理,去除無(wú)機(jī)碳的干擾,然后樣品中的有機(jī)物質(zhì)在過(guò)硫酸鹽等氧化劑的作用下被氧化為二氧化碳,再通過(guò) NDIR 進(jìn)行檢測(cè)。 適用范圍:適用于常規(guī)水體如地表水等,但對(duì)于復(fù)雜水體(如含有高分子量化合物的水體)的氧化可能不充分,不適用于 TOC 含量很高的水體。 優(yōu)點(diǎn):操作相對(duì)簡(jiǎn)單,對(duì)儀器設(shè)備的要求較低,成本較低。 缺點(diǎn):氧化能力有限,對(duì)于一些難氧化的有機(jī)物可能無(wú)法完全氧化,導(dǎo)致測(cè)定結(jié)果偏低。
能耗成本:反滲透過(guò)程需要在一定壓力下進(jìn)行,通常需要壓力泵提供 1 - 10MPa 的壓力,這會(huì)消耗大量的電能。在處理大量超純水時(shí),能耗成本尤其重要。不過(guò),隨著技術(shù)的進(jìn)步,一些能量回收裝置可以回收部分能量,降低能耗成本。例如,在一些大型海水淡化廠(其原理與反滲透處理超純水類似),能耗成本占總運(yùn)行成本的比例較高,但通過(guò)能量回收裝置可使這一比例有所降低。膜更換成本:隨著使用時(shí)間的延長(zhǎng),反滲透膜會(huì)受到污染、結(jié)垢或老化,導(dǎo)致性能下降。一般情況下,反滲透膜需要定期更換,其更換周期根據(jù)進(jìn)水水質(zhì)、操作條件和膜的質(zhì)量等因素而異,可能在 1 - 3 年左右。膜的更換成本較高,而且還需要考慮更換過(guò)程中的人工成本和停機(jī)損失?;瘜W(xué)藥劑成本:在預(yù)處理過(guò)程中,可能需要使用化學(xué)藥劑,如絮凝劑用于沉淀懸浮物、活性炭用于吸附有機(jī)物等。在膜清洗過(guò)程中,也需要使用化學(xué)清洗劑,如酸、堿、表面活性劑等來(lái)去除膜表面的污垢。這些化學(xué)藥劑的使用增加了運(yùn)行成本,并且需要合理儲(chǔ)存和管理,以確保安全和有效使用。膜生物反應(yīng)器可在超純水生產(chǎn)中協(xié)同處理有機(jī)物。
總有機(jī)碳(TOC)的檢測(cè)方法,高溫燃燒法,原理:將水樣中的有機(jī)物質(zhì)在高溫(通常為 900℃-1200℃)下完全氧化為二氧化碳,然后利用非色散紅外檢測(cè)器(NDIR)對(duì)二氧化碳進(jìn)行定量檢測(cè),從而計(jì)算出總有機(jī)碳的含量。適用范圍:適用于海水、江河、工業(yè)廢水等污染較重的水體以及 TOC 濃度較高或含有高水平顆粒物的水樣。優(yōu)點(diǎn):氧化徹底,測(cè)量精度高,可檢測(cè)到 ppb 級(jí)的 TOC,適用于各種類型的有機(jī)物氧化。缺點(diǎn):儀器設(shè)備昂貴,運(yùn)行成本高,對(duì)樣品的前處理要求較高,需要去除懸浮物和金屬氧化物等干擾物質(zhì)。正滲透技術(shù)在超純水制備中有潛在應(yīng)用前景。河南教學(xué)用超純水價(jià)格多少
超純水的生產(chǎn)過(guò)程中需關(guān)注樹(shù)脂再生的有效性。河南教學(xué)用超純水價(jià)格多少
從環(huán)境角度來(lái)看,超純水的制備并非毫無(wú)代價(jià)。雖然它本身純凈無(wú)污染,但制備過(guò)程往往需要消耗大量的能源和資源。反滲透膜等重要組件的生產(chǎn)需要消耗石油等原材料,并且在運(yùn)行過(guò)程中,需要高壓泵提供動(dòng)力,這意味著大量的電力消耗。此外,為了保證超純水的質(zhì)量,還需要定期更換濾芯、樹(shù)脂等耗材,這些都會(huì)產(chǎn)生一定的廢棄物。如果處理不當(dāng),可能會(huì)對(duì)環(huán)境造成負(fù)面影響。然而,隨著科技的不斷進(jìn)步,一些新型的節(jié)能制備技術(shù)正在研發(fā)和推廣,例如利用太陽(yáng)能驅(qū)動(dòng)的超純水制備系統(tǒng),旨在降低其對(duì)傳統(tǒng)能源的依賴,減少對(duì)環(huán)境的壓力,使超純水的生產(chǎn)更加綠色可持續(xù)。河南教學(xué)用超純水價(jià)格多少