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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-29

極紫外光刻(英語(yǔ):Extremeultra-violet,也稱(chēng)EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長(zhǎng)是下一代光刻技術(shù),其波長(zhǎng)為13.5納米,預(yù)計(jì)將于2021年得到廣泛應(yīng)用。幾乎所有的光學(xué)材料對(duì)13.5nm波長(zhǎng)的極紫外光都有很強(qiáng)的吸收,因此,EUV光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)只有使用反光鏡。我們上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料,很好得避免了材料吸收紫外線的問(wèn)題。增大紫外線的反射率。RSP鋁合金的微晶結(jié)構(gòu)使其可以應(yīng)用在空間觀測(cè)設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下,鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。,降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響,可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來(lái)的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長(zhǎng)期穩(wěn)定在一個(gè)范圍值內(nèi)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車(chē),磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu),充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車(chē)削工藝加工反射鏡鏡面??梢灾苯荧@得滿(mǎn)足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好,在航空航天材料應(yīng)用中有良好的性?xún)r(jià)比。3D打印荷蘭微晶鋁合金。庫(kù)存微晶鋁合金誠(chéng)信推薦

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6061微晶鋁制成的金屬光學(xué)器件已被***用于滿(mǎn)足無(wú)熱儀器設(shè)計(jì)的要求。金剛石車(chē)削金屬鏡是中紅外天文儀器的標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)部件,工作于低溫。結(jié)構(gòu)和光學(xué)器件可以由相同的材料(鋁)制成,以避免熱應(yīng)力由于不同的CTE。然而,鋁反射鏡的表面粗糙度、散射行為和形狀精度由于基底材料的結(jié)晶和機(jī)械財(cái)產(chǎn)而受到限制。由零膨脹制成的鏡子玻璃陶瓷或碳化硅(SiC)可以用于低溫應(yīng)用。然而,這需要付出巨大的加工制造和安裝時(shí)間河難度。因此,設(shè)計(jì)師盡量避免在這些地方使用玻璃或陶瓷工作條件將相同的材料用于光學(xué)和結(jié)構(gòu),甚至用于近紅外應(yīng)用,將是一種向前邁出了一大步。使用具有NiP層的鋁基板可以克服鋁的性能限制鏡子。可以應(yīng)用各種拋光技術(shù)。電子封裝微晶鋁合金批發(fā)價(jià)微晶鋁合金可用在光電設(shè)備組件。

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普通鋁合金冷卻速度慢會(huì)帶來(lái)內(nèi)部產(chǎn)生粗大的枝晶,熱應(yīng)力失衡。造成表面不平整,熱膨脹系數(shù)大。RSP微晶鋁合金采用的是快速冷凝法,使的兩種金屬形成均質(zhì)的合金,使晶粒越細(xì)。這樣使得鋁合金表面平整度高,獲得更高的強(qiáng)度和韌性。因?yàn)槭枪桎X合金,能很好的綜合了兩種金屬的優(yōu)點(diǎn)。具有高耐磨性能和精加工性能。其熱穩(wěn)定性能和機(jī)械穩(wěn)定性能高。應(yīng)用領(lǐng)域:航天工業(yè),如航空航天緊固件,結(jié)構(gòu)件。高導(dǎo)熱材料。電子封裝,如散熱器,載具,微波射頻應(yīng)用。光電設(shè)備,如激光器夾具,反射鏡。設(shè)備制造,如活塞氣缸,屏蔽設(shè)備,精密設(shè)備夾具,載具。RSA-905的表面平整度好,熱膨脹系數(shù)低,高導(dǎo)熱率,不需要做鍍層,適合精密拋光加工,而且成型后穩(wěn)定性能高,可以定制解決方案。應(yīng)用于反射鏡和光學(xué)透鏡模具等。也可以做緊固件。RSA-443的比剛度高,高導(dǎo)熱率,熱膨脹系數(shù)低,優(yōu)越的可加工性,成型后穩(wěn)定性能高,可以定制解決方案。應(yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件和精密設(shè)備零部件。RSA-905表面平整度高,成型后穩(wěn)定性能好,適合做反射鏡。

RSP鋁合金在航空航天設(shè)備中的廣泛應(yīng)用。其特點(diǎn)是RSP鋁合金可通過(guò)加工獲得要求的反射面精度,并且在使用中保持其精度。光學(xué)系統(tǒng)中,要求反射鏡的反射面高度平滑。RSP鋁合金因?yàn)槠涔に囂攸c(diǎn)本身具有高平整度,表面晶粒均勻,且有良好的加工性和拋光度能很好滿(mǎn)足高度平滑要求。在空間環(huán)境中,溫度環(huán)境的變化會(huì)破壞反射鏡鏡體的溫度場(chǎng)的平衡。對(duì)反射鏡面型會(huì)造成不利影響。RSP鋁合金的熱膨脹系數(shù)低,鏡面穩(wěn)定性好,導(dǎo)熱系數(shù)大,導(dǎo)熱快,有利于減小鏡體內(nèi)部溫度梯度,快速平衡溫度,減小熱應(yīng)力產(chǎn)生的形變~可以超精密加工的微晶鋁合金。

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金剛石車(chē)削RSA-6061鋁合金工藝優(yōu)化指南光學(xué)應(yīng)用。RSP的熔紡鋁可用于獲得1nm的表面粗糙度,使其成為視覺(jué)和紅外光學(xué)系統(tǒng)的一個(gè)促成因素應(yīng)用。機(jī)器設(shè)置金剛石車(chē)削是獲得1nm表面的粗糙度。則需要防止機(jī)器振動(dòng)。檢查總是很重要的,檢查金剛石車(chē)削機(jī)床風(fēng)箱,工件平衡另一個(gè)重要的因素是一個(gè)完美平衡的主軸和工件。機(jī)器制造商,擁有機(jī)上軟件平衡工具。使用這些工具時(shí),建議實(shí)現(xiàn)為了達(dá)到表面粗糙度值Sq<2,不平衡度小于2nmP-V金剛石工具金剛石刀具的質(zhì)量對(duì)可達(dá)到的表面粗糙度至關(guān)重要。它是目前已知鉆石工具在重新定位時(shí)可能會(huì)有不同的表現(xiàn),我們建議使用刀尖半徑為1.5mm的金剛石工具可以精加工的微晶鋁合金。專(zhuān)用微晶鋁合金推薦咨詢(xún)

針對(duì)航空用鋁合金零件的微晶鋁合金。庫(kù)存微晶鋁合金誠(chéng)信推薦

RSP鋁合金密度小,強(qiáng)度高,韌性高,高的導(dǎo)熱率和電導(dǎo)率,高耐磨性,耐腐蝕性好,優(yōu)異的加工性能。在航空航天,機(jī)械制造,工業(yè)半導(dǎo)體等有大量應(yīng)用。RSA-905適合精拋光加工,具有表面平整度好,成型后穩(wěn)定性能高,熱膨脹系數(shù)低,高的導(dǎo)熱率,無(wú)需表面渡層??梢詰?yīng)用于反射鏡和光學(xué)透鏡模具。RSA-443熱穩(wěn)定性和機(jī)械性能高,具有優(yōu)越的可加工性,比剛度高,導(dǎo)熱系數(shù)高,熱膨脹系數(shù)低,成型后穩(wěn)定性高??梢詰?yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件。RSA6061表面平整度高,具有優(yōu)越的可加工性能,熱膨脹系數(shù)低??梢灾谱鞣瓷溏R等光學(xué)部件。庫(kù)存微晶鋁合金誠(chéng)信推薦