廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-05-29
立式爐采用垂直升降式腔體設(shè)計(jì),工件通過(guò)吊籃或托盤(pán)垂直進(jìn)出爐體,利用重力實(shí)現(xiàn)上下料定位,適合對(duì)空間利用率要求高的場(chǎng)景;臥式爐則為水平推拉式結(jié)構(gòu)。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的立式爐通過(guò)優(yōu)化腔體氣流分布,減少水平溫差,溫度均勻性較傳統(tǒng)臥式爐提升 30% 以上。
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