江蘇邁茨工業(yè)智能裝備有限公司2025-05-22

微動控制關(guān)鍵技術(shù)： 傳動優(yōu)化：預(yù)緊式滾珠絲杠（軸向間隙≤0.003mm）+直線電機（分辨率0.1μm）。 控制算法：PID+前饋補償，結(jié)合干擾觀測器（DOB）抑制非線性誤差。 環(huán)境控制：恒溫實驗室（±1℃）減少熱變形影響。 實測數(shù)據(jù)：在光學(xué)元件對準(zhǔn)中實現(xiàn)±0.5μm重復(fù)定位精度。

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