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湖北無機(jī)BOE蝕刻液銷售廠家

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-03

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    添加劑為二乙二醇單甲醚、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分別為%、%、%。實(shí)施例6本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸鈉,添加量分別為總質(zhì)量的%、%、%。對(duì)照例對(duì)照例中所含成分顯示于表1,并采用與實(shí)施例相同的方法進(jìn)行處理。對(duì)照例1為純磷酸,總質(zhì)量為400g。對(duì)照例2為磷酸、丙二醇丁醚,其中丙二醇丁醚的添加量為總質(zhì)量的%。對(duì)照例3為磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質(zhì)量的%。結(jié)果如表2所示,與對(duì)照例蝕刻液相比,實(shí)施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角,并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性。表1表2顯然,上述實(shí)施例和對(duì)照例是為了清楚地說明所作的實(shí)例,而并非對(duì)實(shí)施方式的限制。對(duì)于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng),這里無需也無法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而因此所引申的顯而易見的變化或變動(dòng)仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之內(nèi)。河南電子級(jí)BOE蝕刻液產(chǎn)品介紹BOE蝕刻液的比例分為哪些?

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    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,待加熱到確定溫度后,放入氮化硅樣片進(jìn)行蝕刻;蝕刻完后,取出樣片采用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊螅褂脵E圓偏振光譜儀對(duì)蝕刻前所取位置的6個(gè)點(diǎn)的厚度進(jìn)行測(cè)量,計(jì)算蝕刻前后6個(gè)取點(diǎn)的厚度差值,對(duì)比6個(gè)點(diǎn)之間的厚度差值的差異。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比,本發(fā)明的有益效果是:醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力,有效提高了蝕刻液對(duì)氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例,進(jìn)一步闡述本發(fā)明,對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說明,但不限于這些實(shí)施例。本發(fā)明的蝕刻液配制時(shí)選擇的磷酸濃度為85%,蝕刻溫度為160℃,蝕刻時(shí)間為10min。先對(duì)所配制蝕刻液的表面張力進(jìn)行檢測(cè),然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?,進(jìn)行接觸角的測(cè)量;蝕刻前使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?,在氮化硅樣片上?個(gè)不同位置的點(diǎn)對(duì)其厚度進(jìn)行測(cè)量;蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?,取與蝕刻前相同位置的6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度測(cè)量。實(shí)施例1本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中。BOE蝕刻液價(jià)格咨詢,請(qǐng)聯(lián)系蘇州博洋化學(xué)。

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    這是除去固體顆粒、電子流、水、或者或多或少具有極性的油脂污染的要求。在精細(xì)清洗中,經(jīng)常存在裝有凹槽、肋條或盲孔的非常復(fù)雜的部件,必須用溶劑對(duì)其進(jìn)行潤濕,以使溶劑在這些難洗位置發(fā)揮作用。氟化溶劑來自提供表面的可能性的潤濕的溶劑類型,其中,所述表面的可能性的潤濕以非常低的表面張力表示(例如,相對(duì)于,HCFC141b為)。高潤濕的另一優(yōu)點(diǎn)是得到基底的較快干燥。在幾乎相同的分子量下,氟化溶劑具有較低的沸點(diǎn)和較高的蒸氣壓。因此,HCFC141b在32°C下沸騰而氯仿在61°C下沸騰。這兩種性質(zhì)(低沸點(diǎn)和高蒸氣壓)有利于這些溶劑在利用蒸氣相操作的常規(guī)工業(yè)機(jī)器中的應(yīng)用,使得能夠進(jìn)行部件的漂洗和干燥,而且使得被連續(xù)蒸餾的溶劑能夠再生。這些機(jī)器裝有用于通過冷凝而使蒸氣在盤管上冷卻的大功率(heavy-duty)系統(tǒng),這些機(jī)器的操作方法使得所用高蒸氣壓的缺點(diǎn)小化。工業(yè)家們期望可用于他們的現(xiàn)有機(jī)器存貨的替代解決方案。此外,氫氟烴地用于制冷和傳熱過程。本發(fā)明提供具有低GWP且具有可生物降解的優(yōu)點(diǎn)的組合物。根據(jù)本發(fā)明的組合物含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F90R的九氟丁基烷基醚,其中R具有14個(gè)碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈。有利地。湖北無機(jī)BOE蝕刻液銷售廠家