產(chǎn)品中心
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管式爐在金屬硅化物（如TiSi?、CoSi?）形成中通過退火工藝促進(jìn)金屬與硅的固相反應(yīng)，典型溫度400℃-800℃，時間30-60分鐘，氣氛...
在半導(dǎo)體晶圓制造環(huán)節(jié)，管式爐的應(yīng)用對提升晶圓質(zhì)量與一致性意義重大。例如，在對 8 英寸及以下晶圓進(jìn)行處理時，一些管式爐采用立式批處理設(shè)計，配...
隨著半導(dǎo)體技術(shù)朝著更高集成度、更小尺寸的方向不斷發(fā)展，極紫外光刻（EUV）等先進(jìn)光刻技術(shù)逐漸成為行業(yè)主流。在 EUV 技術(shù)中，高精度光刻膠的...
晶圓預(yù)處理是管式爐工藝成功的基礎(chǔ)，包括清洗、干燥和表面活化。清洗步驟采用SC1（NH?OH:H?O?:H?O=1:1:5）去除顆粒（>0.1...
賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司于2021年9月由原青島賽瑞達(dá)電子裝備股份有限公司重組，引入新的投資而改制設(shè)立的。公司位于無錫市錫山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，注冊資本6521.74萬元，是一家專注于研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備和光伏電池設(shè)備的裝備制造企業(yè)。 公司主要產(chǎn)品有：半導(dǎo)體工藝設(shè)備、硅基集成電路和器件工藝設(shè)備、LED工藝設(shè)備、碳化硅、氮化鎵工藝設(shè)備、納米、磁性材料工藝設(shè)備、航空航天工藝設(shè)備等。并可根據(jù)用戶需求提供定制化的設(shè)備和工藝解決方案。公司秉承“助產(chǎn)業(yè)發(fā)展，創(chuàng)美好未來”的使命，專精于半導(dǎo)體智能裝備的研發(fā)制造，致力于成為半導(dǎo)體裝備的重要品牌?！百|(zhì)量、誠信、創(chuàng)新、服務(wù)、共贏”是我們的重要價值觀，我們將始終堅持“質(zhì)量是企業(yè)的生命，誠信是立足的根本，服務(wù)是發(fā)展的保障，不斷創(chuàng)新是賽瑞達(dá)永恒的追求”的經(jīng)營理念，持續(xù)經(jīng)營，為廣大客戶創(chuàng)造價值，和員工共同發(fā)展。
