環(huán)境決定”——技術發(fā)展導致其實,除了晶圓的生長方法決定的“晶圓”是圓形的這個原因之外,還有以下3條其他的決定因素:2??有人計算過,比較直徑為L毫米的圓和邊長為L毫米的正方形,考慮晶圓制造過程中邊緣5到8毫米是不可利用的,算算就知道正方形浪費的使用...
四、固化:待耐磨涂層完全固化后(常溫24小時),即可投入使用。注意事項:1、每次配膠不超過4kg為宜,配好的膠在30min內用完,以免膠固化造成浪費。2、材料配制時,稱量要準確,混合要均勻,涂抹時膠層要壓實3、溫度低于15度時,涂層固化慢,固化不完...
2.噴涂機械臂 這種機械臂多用于噴漆生產線上,重復位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃,一般采用液壓驅動或交流伺服電機驅動。3.焊接機械臂 這是目前使用最多的一類機械臂,它又可分為點焊和弧焊兩類。點焊機械臂負荷大基本介紹當提到機械人時,許多人會想到有手,有腳的人型...
6)自適應控制。采用組合自適應控制將系統(tǒng)劃分成關節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng)。利用參數(shù)線性化的方法設計自適應控制規(guī)則來辨識柔性機械臂的不確定性參數(shù)。對具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機械臂進行了**控制器的設計??刂破鞯脑O計是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和...
等靜壓成型是在傳統(tǒng)干壓成型基礎上發(fā)展起來的特種成型方法。它利用流體傳遞壓力,從各個方向均勻地向彈性模具內的粉體施加壓力。由于流體內部壓力的一致性,粉體在各個方向承受的壓力都一樣,因此能避免坯體內密度的差別。 等靜壓成型有濕袋式等靜壓和干袋式等靜壓之分...
本發(fā)明涉及一種半導體制造技術,尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。 背景技術: 在半導體加工設備中,經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設備的產能就越大。隨...
晶圓運送機械吸臂主要由以下幾個部分組成: 吸盤:用于吸附晶圓,通常采用真空吸附原理。吸盤材料應具有耐磨、耐腐蝕、低粒子產生等特性,以保證晶圓表面不受污染。 機械臂:用于支撐和移動吸盤,實現(xiàn)晶圓在不同工藝設備間的傳送。機械臂應具有高精度、高穩(wěn)定性...
混料機耐磨陶瓷襯板特點:具有耐磨、抗沖擊、耐腐蝕、耐高溫、施工方便等特點,是電力、冶金、煤炭、石 油、水泥、化工、機械等行業(yè)物料(如灰渣、煤粉、礦精粉、尾礦、水泥等)輸送設備表面耐磨的理想材料,在高溫腐蝕、高溫磨損或高溫熔蝕的場合下使用非常安 全可靠。 混料機...
中國擁有龐大的制造業(yè),是世界弟一工業(yè)機器人市場,有著1000多家與工業(yè)機器人相關的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國在機械臂制造領域處于大而不強的狀態(tài)。擁有自主品牌的工業(yè)機械臂的數(shù)量和市場占有份額偏低?,F(xiàn)在國內很多機器人企業(yè)有很多都不是在真心實意地在做技術,很多都是跟著...
微孔陶瓷吸盤的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密...
3) 加速度反饋控制。Khorrami FarShad 和Jain Sandeep研究了利用末端加速度反饋控制柔性機械臂的末端軌跡控制問題。4) 被動阻尼控制。為降低柔性體相對彈性變形的影響 選用各種耗能或儲能材料設計臂的結構以控制振動。 或者在柔性梁上采用阻...
耐磨涂層膠泥該產品耐磨防腐性能在耐磨材料里是首屈一指的,無可替代的。超聚合陶瓷耐磨復合涂層是由高性能耐磨顆粒(陶瓷)與改性增韌耐熱樹脂進行復合得到的高性能耐磨聚合材料。***用于修復因高溫、沖蝕、腐蝕和氣蝕對設備的磨損,也用于在有耐磨、防腐要求的機...
受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響,兩市**小幅低開,低開后的市場在抄底盤和北上資金的推動下震蕩走高,早間收盤全線收漲,午后在科技板塊的帶動下市場繼續(xù)震蕩走高,最終兩市**以中陽報收。 昨天談到農業(yè)、大消費和科技股目前呈現(xiàn)出蹺蹺板的態(tài)勢...
陶瓷耐磨彎頭性能: 1、由于陶瓷耐磨彎頭內表面光滑、且永不銹蝕,也不象無縫鋼管內表面有凸狀螺旋線存在。經有關檢測單位對內表面粗糙度,及清水阻力特性測試,其內表面光滑度優(yōu)于任何金屬管道,清阻力系數(shù)為0.0193,比無縫管稍低。因此該管具有運行阻力小等特點,可減少...
一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,該真空吸附機械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于...
輸送半導體晶圓的機械手通常具有兩個以上的自由度。這種機械手典型地由兩個連桿和手部構成。在本說明書中,將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地,上臂連桿的一端連結于電機的輸出軸,上臂連桿的另一端連結于前臂連桿的一端。而且,前臂連桿的另一端連結于手部。上臂連桿和前...
耐磨膠泥的應用具有重要的工程意義。磨損本身非常復雜,存在多種磨損類型,而且隨著工況,諸如載荷、速度、溫度、介質條件(有無潤滑〉,摩擦表面的性質等的變化,都會使磨損類型發(fā)生改變,從而影響磨損的特征與機制。本文相關詞條解釋耐磨耐磨材料種類繁多,用途**...
精密結構陶瓷是一種具有 度、高硬度、耐高溫、耐腐蝕等特性的陶瓷材料。它在各種應用場景中發(fā)揮著重要作用。首先,精密結構陶瓷在航空航天領域具有廣泛的應用。例如,陶瓷剎車片用于飛機和火箭的著陸裝置,具有耐高溫、耐磨、重量輕等優(yōu)點。此外,陶瓷基復合材料可以用于制造飛機...
晶圓運送機械吸臂主要由以下幾個部分組成: 吸盤:用于吸附晶圓,通常采用真空吸附原理。吸盤材料應具有耐磨、耐腐蝕、低粒子產生等特性,以保證晶圓表面不受污染。 機械臂:用于支撐和移動吸盤,實現(xiàn)晶圓在不同工藝設備間的傳送。機械臂應具有高精度、高穩(wěn)定性...
施工過程:將施工部位清理干凈,內壁不得粘有雜物浮塵。首先清理龜甲網(wǎng)或扒釘上面浮著物,清干凈施工工作面浮塵、雜物、然后用手工涂抹耐磨陶瓷涂料,施工部位可用鐵板等工具弄平整、光滑、接口要緊密。對于施工面積較大或厚度大于50mm以上部位要加焊錨固件,且間...
耐磨陶瓷襯磚外觀白色,帶子母扣,一般分直磚,斜磚,半磚和薄磚,端頭用直磚,筒體直磚和斜磚搭配使用耐磨陶瓷襯磚用途:用于球磨機、管道等耐磨內襯,耐磨陶瓷襯磚特點:(1)氧化鋁含量92%,純度高,不會對研磨物料造成污染(2)耐磨性好,耐磨性能是錳鋼的2...
耐磨陶瓷內襯.弧形氧化鋁耐磨陶瓷襯板具有一定的弧度,主要用于旋流器,也可以根據(jù)具體管道直徑定做各種規(guī)格的弧形襯板,使其完美貼合管道內壁。 隨著金礦規(guī)模以及選礦裝備都開始趨向大型化,入選原礦漿粒度、重介質懸浮液入口壓力與速度不斷提高,嚴重影響了旋流器的使用壽命。...
本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定,維護方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設...
背景技術: 晶圓的生產與制作屬極為精密的加工技術,其通常需借助晶圓傳輸裝置來進行運輸傳遞等作業(yè)。例如,準備對晶圓進行刻蝕加工時,需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機臺內。 現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機械手臂,該機械手臂的表面設有卡...
注塑行業(yè)機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機機械手,它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動剪水口、模內鑲件、模內貼標、模外組裝、整形、分類、堆疊、產品包裝、模具優(yōu)化等等。且可以對其進行自動控制使其按照預定要求輸送制品或操持工具進行生產操作的自動化生產設備。...
本發(fā)明涉及一種半導體制造技術,尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。 背景技術: 在半導體加工設備中,經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設備的產能就越大。隨...
本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定,維護方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設備要求,...
4、Al-SiO2法 Al-SiO2法是目前制備氧化鋁陶瓷中采用最多的方法。該方法將Al金屬和SiO2粉體混合均勻后,在Ar氣條件下進行反應,反應溫度一般為1300~1500 ℃ ,反應時間為2~4h,制備得到氧化鋁陶瓷。 Al-SiO2...
過濾和分離 1.超純水的制備和除菌 用硅藻土或粘土熟料質制成的多孔陶瓷濾芯,已用于飲水、石油油井注水用水等的除菌和凈化,還用于注射液的消毒過濾,以及電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、光學透鏡研磨用的超純水的凈化等。 2.廢水處理 用多孔陶瓷過濾工...
***,氧化鋯陶瓷能夠直接燒成的平面度是非常好的,所以很多后膜集成電路,制冷器以及臭氧發(fā)生器等都是由氧化鋯陶瓷加工而成的,可以說這種陶瓷材質制作而成的產品比其他材質更具優(yōu)勢。第二,采用注射成型技術,通過良好的收縮比控制,再加上后期的加工,氧化鋯陶瓷...