輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手通常具有兩個以上的自由度。這種機(jī)械手典型地由兩個連桿和手部構(gòu)成。在本說明書中,將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地,上臂連桿的一端連結(jié)于電機(jī)的輸出軸,上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端。而且,前臂連桿的另一端連結(jié)于手部。上臂連桿和前...
一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手,其特征在于,包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形,所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段;位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺,所述偽絕緣凸...
B、成型壓力 成型壓力在氧化鋯干壓成型過程中是較關(guān)鍵的,壓力太小和太大都不能壓制出理想的坯體。壓力太小,則燒后產(chǎn)品的密度小,產(chǎn)品收縮大,坯體壓實(shí)程度不夠容易出現(xiàn)分層;而壓力太大,坯體也容易出現(xiàn)裂紋、分層和脫模困難等現(xiàn)象。合適的成型壓力需要通過生產(chǎn)實(shí)踐...
沖渣溝高強(qiáng)耐磨陶瓷澆注料產(chǎn)品比國內(nèi)同類產(chǎn)品性能指標(biāo)高出15-30%;比國外同類知名進(jìn)口產(chǎn)品高出50-80%。水泥干法線生產(chǎn)過程中,諸如生料立磨、旋風(fēng)分離筒、選粉機(jī)及篦冷機(jī)管道等很多部位由于高速、高濃度、高磨蝕性介質(zhì)(部分還是高溫)的強(qiáng)沖刷和強(qiáng)磨損,...
微孔陶瓷簡介 性能 (1)氣孔率高。多孔陶瓷的重要特征是具有中較多的均勻可控的氣孔。氣孔有開口氣孔和閉口氣孔之分,開口氣孔具有過濾、吸收、吸附、消除回聲等作用,而閉口氣孔則有利于阻隔熱量、聲音以及液體與固體微粒傳遞。 (2)...
2)利用多孔陶瓷制備多孔電極。以多孔氣體擴(kuò)散電極為例,它的比表面積不但比平板電極提高3~5個數(shù)量級,而且液相傳質(zhì)層的厚度也從平板電極的10cm壓縮到1O~10cm,從而大大提高電極的極限電流密度,減少濃差極化。 敏感元件 陶瓷傳感器的敏感元件工...
控制策略對柔性機(jī)械臂的控制一般有如下方式,1)剛性化處理。完全忽略結(jié)構(gòu)的彈性變形對結(jié)構(gòu)剛體運(yùn)動的影響。例如為了避免過大的彈性變形破壞柔性機(jī)械臂的穩(wěn)定性和末端定位精度NASA的遙控太空手運(yùn)動的比較大角速度為。2)前饋補(bǔ)償法。將機(jī)械臂柔性變形形成的機(jī)械...
氧化鋁陶瓷作為陶瓷質(zhì)陶瓷,具有高強(qiáng)度、高彈性模量、高溫抗氧化性等優(yōu)異性能,廣泛應(yīng)用于制備陶瓷基復(fù)合材料、金屬基復(fù)合材料等領(lǐng)域,成為目前極有發(fā)展前途的無機(jī)鹽陶瓷材料。下面小編簡要介紹氧化鋁陶瓷制備方法及應(yīng)用。一、氧化鋁陶瓷制備方法氧化鋁陶瓷制備方法主...
與傳統(tǒng)的SCARA型搬運(yùn)機(jī)械手相比,蛙腿型機(jī)械手的傳動機(jī)構(gòu)更簡單,剛性更高,且工作效率更高。如上圖所示,蛙腿型機(jī)械手手臂為對稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu),包括1對大臂和2對小臂。2個直驅(qū)電機(jī)分別通過2個同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂,大臂末端通過4個旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對小臂,...
環(huán)境決定”——技術(shù)發(fā)展導(dǎo)致其實(shí),除了晶圓的生長方法決定的“晶圓”是圓形的這個原因之外,還有以下3條其他的決定因素:2??有人計(jì)算過,比較直徑為L毫米的圓和邊長為L毫米的正方形,考慮晶圓制造過程中邊緣5到8毫米是不可利用的,算算就知道正方形浪費(fèi)的使用...
耐磨陶瓷片考慮粘接劑受溫因素,各部分在選擇耐磨陶瓷片的時候也要考慮陶瓷片的外觀和粘結(jié)方式,做到多重防護(hù)。 根據(jù)工況環(huán)境、受力情況的不同,耐磨陶瓷片的磨損大致可分為切削磨損、疲勞磨損、磨蝕磨損、沖擊磨損等幾大類,由于每種磨損的工作原理不盡相同,所以陶瓷片的磨損機(jī)...
深圳市德澳美精密制造有限公司位于深圳市龍華新區(qū),自成立以來一直致力于陶瓷的生產(chǎn)加工,是國內(nèi)最早的從事陶瓷精密加工的企業(yè)之一。 我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗(yàn)豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種領(lǐng)先的加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測...
一、成型氧化鋯結(jié)構(gòu)陶瓷的成型方法目前用得較多的有三種:熱壓鑄成型、干壓成型和等靜壓成型。1、熱壓鑄成型對于氧化鋯結(jié)構(gòu)陶瓷小型產(chǎn)品或形狀復(fù)雜的產(chǎn)品。一般采用熱壓鑄成型方法。該成型方法比較簡單,特別適宜于生產(chǎn)批量大或形狀復(fù)雜的中小型產(chǎn)品。但氧化鋯熱壓鑄...
有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手。具體地,該機(jī)械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室(process chamber),或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出。傳送室(transfer chamber)連結(jié)于處理室。機(jī)械手配置在該傳送室內(nèi)。利用機(jī)械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間...
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素: 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是:現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,且傳送晶圓效率較低。 為了解決上述問題,本實(shí)用新型的一個實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承...
它通常有幾個自由度,用以抓取或移動物體(工具或工件)。”所以對工業(yè)機(jī)械臂可能理解為:擬人手臂、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置;它可把任一物件或工具按空間位姿(位置和姿態(tài))的時變要求進(jìn)行移動,從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***,對汽車或摩托車車體...
本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動,且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護(hù)方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,...
受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響,兩市**小幅低開,低開后的市場在抄底盤和北上資金的推動下震蕩走高,早間收盤全線收漲,午后在科技板塊的帶動下市場繼續(xù)震蕩走高,最終兩市**以中陽報(bào)收。 昨天談到農(nóng)業(yè)、大消費(fèi)和科技股目前呈現(xiàn)出蹺蹺板的態(tài)勢...
2、工業(yè)高溫窯爐 氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫、熱穩(wěn)定性好、熱導(dǎo)率低、熱容小、耐機(jī)械振動等性能,導(dǎo)熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15,綜合性能好,是理想的節(jié)能增效耐火材料,用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐...
微孔陶瓷簡介 性能 (1)氣孔率高。多孔陶瓷的重要特征是具有中較多的均勻可控的氣孔。氣孔有開口氣孔和閉口氣孔之分,開口氣孔具有過濾、吸收、吸附、消除回聲等作用,而閉口氣孔則有利于阻隔熱量、聲音以及液體與固體微粒傳遞。 (2)...
四、醫(yī)學(xué)生物材料氧化鋯陶瓷材料在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域內(nèi)最常見的應(yīng)用是作為齒科修復(fù)材料和手術(shù)***;在日本和美國等國家利用氧化鋯材質(zhì)制作的烤瓷牙透明度好、生物相容性好,質(zhì)量優(yōu)良;而且目前已經(jīng)有一些研究人員已經(jīng)成功運(yùn)用氧化鋯材料制成人造骨頭等用于醫(yī)療目的。以上...
精密結(jié)構(gòu)陶瓷的制作流程通常包括以下步驟:1.原料選擇:根據(jù)所需陶瓷的性能和用途,選擇適當(dāng)?shù)奶烊换蚝铣稍稀?.配料:將原料和添加劑按一定比例混合,形成配方。3.球磨:通過球磨機(jī)將配方中的原料混合物研磨成細(xì)粉。4.噴霧干燥:將球磨后的漿料進(jìn)行噴霧干燥,以形成顆粒...
水熱-熱靜壓工藝 該工藝通過水作為壓力傳遞介質(zhì)制備各種孔徑多孔陶瓷。其簡單制備步驟為:硅凝膠和10%(質(zhì)量百分?jǐn)?shù))的水混合,置于高壓釜中(壓力10—15MPa,溫度300℃),通過水蒸汽的揮發(fā)而制成多孔陶瓷。水熱-熱靜壓工藝中,反應(yīng)時間一般為10—1...
氧化鋁陶瓷作為陶瓷質(zhì)陶瓷,具有高強(qiáng)度、高彈性模量、高溫抗氧化性等優(yōu)異性能,廣泛應(yīng)用于制備陶瓷基復(fù)合材料、金屬基復(fù)合材料等領(lǐng)域,成為目前極有發(fā)展前途的無機(jī)鹽陶瓷材料。下面小編簡要介紹氧化鋁陶瓷制備方法及應(yīng)用。一、氧化鋁陶瓷制備方法氧化鋁陶瓷制備方法主...
(1)晶粒大小。品粒越細(xì),晶界面積越大,產(chǎn)生塑性變形就越大。(2)溫度。在壓力恒定下,應(yīng)變速率隨著溫度提高而增加。(3)應(yīng)變速率大小。尤其在位伸變形時,較低的應(yīng)變速率可獲大于200%的拉伸變形,因?yàn)閼?yīng)變速率過大,在晶界處易形成空洞等,以致造成過早的...
、離心澆鑄復(fù)合陶瓷管是采用“自蔓燃高溫合成-高速離心技術(shù)”制造的復(fù)合管材,在高溫高速下形成均勻、致密且表面光滑的陶瓷層及過渡層。另外工作常溫850~900度陶瓷都不會掉落,大直徑耐磨復(fù)合管,重量較輕,復(fù)合陶瓷以硬度防磨,南陽耐磨陶瓷管,解決過去以厚度防磨。目前...
微孔陶瓷真空吸盤的應(yīng)用領(lǐng)域: 微孔陶瓷真空吸盤廣泛應(yīng)用于自動化生產(chǎn)線和機(jī)器人系統(tǒng)中的物料搬運(yùn)、裝配、加工等工序。它可以用于吸附和固定各種材料和工件,如金屬板材、塑料制品、玻璃制品、電子元件等。在電子行業(yè)、汽車制造業(yè)、玻璃加工業(yè)、食品包裝業(yè)等領(lǐng)域都有重...
3)整體性好。由于耐磨可塑料采取了雙重補(bǔ)強(qiáng)措施,有的甚至采取了多種補(bǔ)強(qiáng)措施,有效地改善了材料性能,使其體積穩(wěn)定,不可能產(chǎn)生裂縫,因而整體性好,另外施工為整體施工,無接縫出現(xiàn),因而整體性進(jìn)一步提高。 (4)環(huán)境相容性好。由于采用了耐酸和耐堿...
氧化鋁陶瓷作為陶瓷質(zhì)陶瓷,具有高強(qiáng)度、高彈性模量、高溫抗氧化性等優(yōu)異性能,廣泛應(yīng)用于制備陶瓷基復(fù)合材料、金屬基復(fù)合材料等領(lǐng)域,成為目前極有發(fā)展前途的無機(jī)鹽陶瓷材料。下面小編簡要介紹氧化鋁陶瓷制備方法及應(yīng)用。一、氧化鋁陶瓷制備方法氧化鋁陶瓷制備方法主...
精密結(jié)構(gòu)陶瓷是一種具有 度、高硬度、耐高溫、耐腐蝕等特性的陶瓷材料。它在各種應(yīng)用場景中發(fā)揮著重要作用。首先,精密結(jié)構(gòu)陶瓷在航空航天領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。例如,陶瓷剎車片用于飛機(jī)和火箭的著陸裝置,具有耐高溫、耐磨、重量輕等優(yōu)點(diǎn)。此外,陶瓷基復(fù)合材料可以用于制造飛機(jī)...