檢驗光學元件泰曼干涉儀被普遍用來檢驗平板、棱鏡和透鏡等光學元件的質量。在泰曼干涉儀的一個光路中放置待檢查的平板或棱鏡，平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡，可根據干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變，從而評估透鏡的波像差。引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson, 1994) [4]。 激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯(lián)科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962） [5]。 1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統(tǒng)（Weiss 1972） [6]激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。太倉新款雙頻激光干涉儀維保

（5）數控機床動態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。5D/6D標準型：1. 線性：0.5ppm .2. 測量范圍：40米（1D可選80米）3. 線性分辨力：0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍：800角秒6. 滾動角精度：1.0角秒7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg姑蘇區(qū)購買雙頻激光干涉儀五星服務當兩束不同頻率的激光光束經過分束器分開后，經過被測物體的反射或透射后再合并，形成干涉條紋。

三角運算給出其中疊加后的振幅為可以看到， 疊加后的振幅與兩列波的初始相位差有關。 由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數， 這種幅度的變化有時候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋。 這種條紋有時候叫做干涉條紋， 由于相位差變化引起的幅度變化有時也稱為條紋移動。分類干涉儀的分類有不同分法按照結構區(qū)分干涉儀可以分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀兩類， 其差異在于干涉的波是否通過同一路徑傳播。 例如邁克爾遜干涉儀就是常見的多路徑干涉儀， 而Sagnac干涉儀， 等傾干涉和等厚干涉等即為單路徑干涉儀（鐘錫華， 陳熙謀， 2002） [3]。

干涉儀是一種使用干涉測量技術的光學計量儀器，其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息，從而獲得實驗所關心的物理量。以下是對干涉儀的詳細介紹：一、基本原理具有固定相位差的兩列準單色波的疊加將導致振幅發(fā)生變化，從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數，這種幅度的變化有時候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋，即干涉條紋?；緲嫵筛缮鎯x一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏（或檢測器）等組成。光源發(fā)出的光經過分束器被分成兩束，分別經由反射鏡反射回來，并在干涉屏（或檢測器）上產生干涉圖樣。其中，各元件的功能如下：雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應用于工業(yè)生產和科學研究中。

環(huán)境適應力強：雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進行放大，即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。因此，它既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內使用，也可在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。實時動態(tài)測速高：現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至達到十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。三、應用領域幾何量精密測量：用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時，既支持幾十米大量程的檢測（如大型機械），也可對手表零件等微米級運動進行測量。光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。吳中區(qū)定制雙頻激光干涉儀性價比

起初用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。太倉新款雙頻激光干涉儀維保

但是這種單頻的激光儀并非完美，它的一個根本弱點就是受環(huán)境影響嚴重，在測試環(huán)境惡劣，測量距離較長時，這一缺點十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動反光鏡移動時，光電接收器會輸出信號，如果信號超過了計數器的觸發(fā)電平則就會被記錄下來，而如果激光束強度發(fā)生變化，就有可能使光電信號低于計數器的觸發(fā)電平而使計數器停止計數，使激光器強度或干涉信號強度變化的主要原因是空氣湍流，機床油霧，切削屑對光束的影響，結果光束發(fā)生偏移或波面扭曲。太倉新款雙頻激光干涉儀維保

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